1.廢氣先經過預處理，其目的為將廢氣中大粒徑的廢氣顆粒進行粗過濾。然后再進入后級干式過濾器（G4+F7），將廢氣濕度降低至允許進入廢氣處理設備的范圍，同時對廢氣中的粉塵進行高精度過濾。

2.經過過濾后的廢氣，進入后續設備的吸附床，吸附凈化的潔凈氣體排放煙囪，吸附在蜂窩活性炭上的有機物，利用高溫氣體（100~120℃）對其進行脫附。高溫氣體來源為后方CO燃燒后的高溫空氣與自然風混合生成。

3.經蜂窩活性炭高溫脫附后的廢氣，經過高效換熱器汲取熱量后再經過電加熱器加熱達到催化溫度，在CO催化爐中完成氧化分解，廢氣得到凈化。凈化后的高溫氣體經過換熱器進行熱量利用，換熱后的氣體溫度仍然較高，一部分氣體用于蜂窩活性炭脫附加熱，剩余部外排至煙囪或根據客戶需求進行余熱利用。